不像其他的氣體傳輸泵，低溫泵在氣體捕集過程中會出現(xiàn)飽和情況，因此需要釋放吸附捕集的氣體以恢復(fù)捕集能力，稱之為再生過程。

低溫真空泵的再生其實(shí)包括部分再生（僅釋放二級冷板吸附的氣體）與全部再生（釋放所有冷板吸附的氣體）。本文要了解的就是低溫泵的全部再生的幾種方式。

一、自然升溫法。關(guān)掉制冷機(jī)后，利用泵壁的熱量使真空泵緩慢升溫。當(dāng)真空泵內(nèi)的壓力升到對流換熱起作用時，升溫速率加快，隨后達(dá)到穩(wěn)定的升溫值。

二、放氣升溫法。關(guān)掉制冷機(jī)后，打開放氣閥放入清潔干燥的空氣，使低溫真空泵冷板快速升溫。

三、電加熱法。在低溫真空泵的一二級冷板上加裝電加熱器，再生時通過電加熱使低溫板快速升溫，縮短再生時間。

這幾種再生方式中，自然升溫適用于抽除少量氣體，并且不是連續(xù)長期排氣的真空系統(tǒng)，一般需時5～6小時。如果在要求快速再生的應(yīng)用中，就需要采用后兩種再生方式。

低溫真空泵在再生過程中，需要及時抽除釋放出來的氣體以防止可能出現(xiàn)的對泵體或真空計玻璃管管殼的破壞，甚至爆炸。因?yàn)樯郎氐揭欢囟葧r，永久性氣體的解吸速度很快，在數(shù)分鐘之內(nèi)可使泵體內(nèi)壓力升高到一個大氣壓以上。